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凈化施工
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安徽集成電路制造無塵車間建設(shè)特點與技術(shù)規(guī)范

來源:m.roempt.com 作者:空氣好凈化
發(fā)布時間:2025-03-27 08:42:01點擊:54次

 一、環(huán)境控制的高標(biāo)準(zhǔn)要求

空氣潔凈度等級
核心光刻區(qū)需達到ISO 1級標(biāo)準(zhǔn)(每立方米≥0.1μm粒子數(shù)≤10個)
一般加工區(qū)維持ISO 3級標(biāo)準(zhǔn)(≥0.5μm粒子數(shù)≤1000個/m³)
采用ULPA超高效過濾器(U15級,過濾效率≥99.9995%)
 
溫濕度精密控制
溫度控制精度±0.1℃(22±0.1℃恒溫系統(tǒng))
相對濕度控制±1%RH(45%±1%RH)
采用三級制冷系統(tǒng)(冷水機組+精密空調(diào)+FFU溫控模塊)
二、特殊建筑結(jié)構(gòu)要求
防微振設(shè)計
核心設(shè)備區(qū)振動控制VC-D級(1-80Hz頻段≤1.5μm/s)
采用彈簧隔振基礎(chǔ)+氣浮平臺雙重減振
建筑結(jié)構(gòu)振動傳遞損失≥30dB
 
電磁屏蔽系統(tǒng)
射頻屏蔽效能≥80dB(1MHz-10GHz)
接地系統(tǒng)阻抗≤0.5Ω
采用銅網(wǎng)屏蔽室+波導(dǎo)通風(fēng)窗設(shè)計
 
三、超純介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)
超純水系統(tǒng)
水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):電阻率≥18.2MΩ·cm,TOC≤1ppb
采用雙級RO+EDI+UV氧化+終端過濾工藝
管道系統(tǒng):316L EP級不銹鋼,電拋光處理(Ra≤0.25μm)
 
特種氣體系統(tǒng)
氣體純度:電子級(99.9999%以上)
輸配系統(tǒng):雙套管檢漏設(shè)計,VCR面密封連接
配置在線純度分析儀(ppb級檢測精度)
 
四、能耗與智能化管理
節(jié)能設(shè)計
熱回收系統(tǒng)(熱回收率≥70%)
變頻控制系統(tǒng)(風(fēng)機能耗降低40%)
采用LED潔凈照明(能耗較傳統(tǒng)燈具低60%)
 
智能監(jiān)控系統(tǒng)
實時監(jiān)測2000+個數(shù)據(jù)點(包括粒子計數(shù)、分子污染等)
大數(shù)據(jù)分析預(yù)測設(shè)備維護周期
數(shù)字孿生技術(shù)實現(xiàn)虛擬調(diào)試
五、特殊防護措施
防靜電系統(tǒng)
地面電阻1×10^6~1×10^9Ω
工作服表面電阻≤1×10^10Ω
離子風(fēng)機覆蓋率100%
 
化學(xué)污染控制
AMC(氣態(tài)分子污染)控制:酸、堿、碳氫化合物均<1μg/m³
化學(xué)過濾器效率≥95%
廢氣處理系統(tǒng)去除率≥99%
 
集成電路制造無塵車間建設(shè)周期通常需18-24個月,單位面積造價達3-5萬元/㎡。需通過SEMI S2/S8認證,并建立嚴(yán)格的變更控制程序。隨著制程進入3nm以下節(jié)點,環(huán)境控制正向分子級潔凈度方向發(fā)展,這對車間建設(shè)提出了更高要求。
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